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X射线检测系统
phoenix microme|x
产品简介:
phoenix microme|x系列结合高分辨率二维X射线技术和CT技术于一体,性能优异且运行定位精确高使得系统具有高效和可靠的特点, 广泛应用于二维和三维离线检测要求: 产品研发, 失效分析, 产品制造
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产品详情

phoenix microme|x系列结合高分辨率二维X射线技术和CT技术于一体,性能优异且运行定位精确高使得系统具有高效和可靠的特点, 广泛应用于二维和三维离线检测要求: 产品研发, 失效分析, 产品制造和质量控制。phoenix|x-ray x|act技术提供了简便的基于CAD文件导入的自动检测程序, 具有微米级检测能力, 特别是受益于GE高动态响应和主动冷却特性的DXR平板探测器, 有可达30fps刷新率, 提供了杰出的实时清晰图像和高速三维CT扫描性能。

实时CAD数据匹配下的BGA锡球开路

和Flash!FiltersTM影像优化


U盘线路板的三维CT影像


先进的planarCT评估(左)

没有重叠特性的X射线影像

特点

  • 自主冷却和温度稳定控制的数字DXR平板探测器具有高动态响应进行实时成像

  • 细节分辨率可达0.5微米的180kV/20W高功率亚微米X射线管

  • 具有CAD文件导入的x|act软件可编程和自动检测

  • 采用金刚石靶材,在同等质量影像条件下数据截取的速度可快2倍

  • 可选三维CT扫描功能,实现10秒的快速扫描

DXR- HD 实时清晰成像


GE特有的高动态响应DXR平板探测器有增强闪烁体技术, 开创了新一代的高效实时成像检测工业标准。

  • 1000x1000像素与30帧频全屏刷新率和低噪点的清晰成像品质,保证快速实时成像检测

  • 主动温度稳定控制系统保证精确可靠的检测要求

  • 三维CT模式下的高速数据截取

  • 达到0.5微米的细节分辨率可进行高性能失效分析

采用Flash!模块处理uBGA锡球内的空

洞: 在1,970倍极高放大倍率下

高功率下高分辨率: diamond|window


相比于传统的铍窗口,microme|x DXR-HD采用金刚石窗口靶材,可以有更高功率下更小的聚焦光点,保证了高输出功率下更高的分辨率

  • 在实现同等影像水平下数据截取速度可快2倍

  • 高功率下高分辨率

  • 无毒靶材

  • 在长期检测时间下改善聚焦光点的稳定性

  • 高功率下低损耗, 提高靶寿命

高分辨率三维CT


对于小型样品的高级检测和三维分析,可选phoenix特有的CT技术


  • 180 kV高功率X射线射线管技术,与DXR数字平板探测器和金刚石窗口靶配合下具有快速影像截取,并结合phoenix快速数据重建软件,得到高质量的检测结果

  • 最大体元分辨可小至2微米

nanoCT ® 在电子封装TSV中的应用,

可清晰发现铜填充物中的空洞

x|act –基于CAD数据导入的编程:


   具有高缺陷覆盖率高分辨率的自动检测


       Phoenix X射线提供高缺陷覆盖率高分辨率的微焦点射线自动检测的解决方案,得利于microme|x和nanome|x系统具有高精度的轴控装置和具有快速简便及离线CAD编程方式的独特的x|act软件。杰出的定位精度和重复精度,结合仅有几微米高分辨率的观测,360°旋转和达到70°倾斜视角可以满足高质量标准检测要求,甚至是间距只有100微米的微小器件。x|act不仅可以进行自动定位检测和实时影像进行CAD数据的匹配以轻松实现焊盘识别,还可在手动检测时利用Flash! Filters TM影像优化确保高缺陷覆盖率。


有效的CAD数据编程


不同于常规的射线自动检测编程,x|act不仅有最小化设置时间, 而且检测程序一经生成后可以兼容应用于所有同类型的设备


  • 基于焊盘的简便离线编程方式

  • 针对不同类型焊盘有特定的检测模块

  • 全自动检测程序,包括斜角和每个器件的多角度定位

  • 极高的定位精度,甚至包含倾斜角和旋转角

  • 手动检测下简便的焊盘识别

  • 针对线路板组装的高重复性检测


编程快速简便:可应用检测模块x|act生成自

动检测程序


phoenix microme|x优点


  • 高动态响应DXR平板的实时清晰图像

  • 特有180 kV / 20 W高功率亚微米焦点或纳米焦点*射线管, 适于高辐射 吸收性材料检测

  • 高效的自动CAD文件导入编程缩减设置时间

  • 甚至在旋转倾斜视角下实现CAD信息实时匹配

  • 高缺陷检出率和重复性

  • 操作使用简便性

  • 细节分辨率可达0.5μm

  • 可选Flash! Filters TM 影像优化技术

  • 可选高级失效分析功能的高分辨率三维纳米CT

  • 可选快速CT扫描时间可达10s


x|act 软件可随时提供实时图像在任意角度的 CAD数据匹配信息和检测数据

选配GE特有的Flash! Filters TM 使缺陷检测更 快、更可靠

技术规格和配置

放大倍率和分辨率: 
  • 几何放大倍率:DXR 最大 1,970 x; 图像增强器 最大 2,130 x

  • 系统放大倍率:DXR 最大 2,660 x; 图像增强器 最大 22,150 x

  • 细节分辨率:可达 0.5μm

180kV微焦点或纳米焦点X射线管 
  • 类型:低维护性开放式微焦点射线管、无寿命限制、透射 靶、170° 辐射角,准直功能

  • 最高管电压:180 kV

  • 最大管功率:20 W

  • 靶:选择无毒diamond|window(CVD金刚石镀钨),同等影像 质量水平,数据截取快2倍

  • 灯丝:钨丝、经预调的即插式结构,更换简单快捷

高级图像处理 (16 bit) 
  • x|act:基于CAD导入的功能全面X射线检测软件,包含图像增强 处理功能,量测功能和基于CAD数据的快速简便的自动定 位检测程序

  • bga|module (标配):BGA焊点自动分析,包括自动润湿性分析

  • vc|module (标配):空隙自动计算软件,包括多重芯片的贴装检测



高动态响应DXR平板探测器 
  • 类型:高动态响应的GE DXR250RT,主动冷却和温度稳定装置, 可实现高质量实时成像和快速影像截取(nanome|x可配 置双探测器,图像增强器和平板探测器)

  • 像素数量:1000 x 1000 像素

  • 像素分辨率:200 x 200 微米

  • 帧频刷新率:可达30 fps

软件配置 (可选) 
  • x|act BGA 检测模块:基于CAD数据的BGA焊点自动分析

  • x|act PTH 检测模块:基于CAD数据的PTH焊点自动分析

  • qfp|module:自动检测QFP焊点

  • qfn|module:自动检测QFN/MLF焊点

  • pth|module:自动检测PTH焊点

  • c4|module:在背景结构下的圆形焊点分析,如倒装芯片的焊点

  • ml|module:多层线路板的检测

  • quality|review:用于返工和缺陷显示的可视化模块

  • Flash! Filters TM :GE特有的影像优化技术

  • PlanarCT module:非破坏性平板二维切片和三维数据分析包括3D|viewer software



高精度操控 
  • 总体结构:高精度无振动5轴同步驱动操控平台

  • 最大检测区域:460 mm x 360 mm (18" x 14") 
                         610 mm x 560 mm (24" x 22") 不使用旋转台

  • 最大样品尺寸/重量:680 mm x 635 mm (27" x 25") / 10 kg (22 lbs.)

  • ovhm高放大倍率倾斜视角:ovhm –可达70°,斜角连续可调, 360°连续旋转

  • 操控:操纵杆控制或鼠标操作(手动模式)和数控编程控制(自动 模式)

  • 操控辅助:X射线影像导航图,点击移动功能,点击放大功能,自 动保持视野中心功能,激光定位瞄准

  • 防碰撞装置:防止检测样品与射线管产生碰撞




硬件配置 (可选) 
  • 倾斜旋转装置:倾斜±45°与连续360°旋转,最大样品载重2kg

  • 手动条码扫描器:用于产品识别

系统尺寸 
  • 尺寸(W×H×D):2020 mm x 1920 mm x 1860 mm 
                              (79.5" x 75.6" x 73.2") 
                              (D 包含控制台为2160 mm)

  • 最小运输宽度:1,560 mm (61.4")

  • 重量:约2,600 kg / 5,732 lbs



计算机断层扫描(可选) 
  • 结合二维与三维(CT) 操作的升级模块

  • CT装置:高精度旋转轴

  • 数据截取/重建软件:phoenix datos|x 专有CT软件

  • 最大几何放大倍率:100 x (CT)

  • 最高体元分辨率:可达2 μm,依实际尺寸而定。 nanoCT功能可提供更高清晰度的影像



辐射安全

辐射安全屏蔽室是全方位的安装防护,依据德国RöV法令和美国FDA 21 CFR1020.40 标准不需要特别的型式许可。对于设备的操作,可能需要当地的官方许可。